| 摘要 |
웨이퍼 이송 장치에 관한 기술이다. 웨이퍼 캐리어와 기판 처리 장치내의 웨이퍼 보트 사이에서 복수의 웨이퍼를 이송하는 이송 부재; 및 상기 이송 부재, 상기 복수의 웨이퍼, 상기 웨이퍼 캐리어 내부 및 상기 웨이퍼 보트 내부를 영상을 실시간으로 모니터링하여, 상기 이송 부재, 상기 복수의 웨이퍼, 상기 웨이퍼 캐리어 및 상기 웨이퍼 보트 중 적어도 한 부분에서 오류 발생시, 상기 이송 부재의 동작을 멈추도록 한 상태에서, 상기 오류 발생 부분을 점검하도록 구성되는 이송 모니터링 블록을 포함한다. |
