Tray and Apparatus for treatmenting substrate using the same

摘要

본 발명은 내열유리로 제작된 트레이 및 이를 사용하는 기판처리장치에 관한 것으로, 트레이는 내열유리로 구성되고 다수의 기판이 적재되는 플레이트; 및 상기 플레이트의 배면에 형성된 접지전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.