| 主权项 |
1.一种具有单镜头双视窗的对正系统,该系统包含:一切割工作台,该切割工作台可供置放一晶圆,该晶圆上形成有多数呈阵列式排列的单位晶片,且该等单位晶片彼此均间隔有一切割道;一驱动装置,该驱动装置可驱动该切割工作台;一位于该切割工作台上方,且具有一镜头的摄影机;一与该摄影机连结的类比/数位转换器,该类比/数位转换器可将该摄影机之镜头所拍摄到之该晶圆的类比影像,转换为一数位影像;一与该类比/数位转换器连结的前置影像记忆装置,该前置影像记忆装置可储存该类比,数位转换器所传送之该晶圆的数位影像;一与该前置影像记忆装置连结的中央处理器,该中央处理器可接收、处理该前置影像记忆装置所传送之该晶圆的数位影像;一与该中央处理器连结的后置影像记忆单元,该后置影像记忆单元包含二影像记忆装置,该二影像记忆装置可同步接收该中央处理器片传送之该晶圆的数位影像;一与该后置影像记忆单元连结的显示器,当该二影像记忆装置同步接收到该中央处理器所传送之该晶圆的数位影像时,该二影像记忆装置可将该晶圆的数位影像,同步显示于该显示器中二互相邻接且完全相同的视窗上;一与该中央处理器连结的动作控制装置,该动作控制装置可控制该驱动装置;藉此,当操作者目视该二视窗中之该晶圆的数位影像,并藉该动作控制装置操控该驱动装置,使该驱动装置驱动该切割工作台产生转动时,若该二视窗邻接处之同一切割道的影像边界互相衔接对正时,即表示该晶圆已转动至一对正位置。2.依据申请专利范围第1项所述之具有单镜头双视窗的对正系统,其中,该驱动装置可为一步进马达。图式简单说明:第一图是习知一种晶圆切割机之立体外观示意图;第二图是该种切割机拆除一外部壳体后的立体示意图;第三图是该种切割机之系统连结示意图;第四图是该种切割机之一视窗显示一置放于一切割工作台上之一晶圆影像的局部平面示意图;第五图是该种切割机之手动调整示意图(一);第六图是该种切割机之手动调整示意图(二);第七图是该种切割机之手动调整示意图(三);第八图是该种切割机之手动调整完成示意图;第九图是本发明之对正系统的一较佳实施例的承统配置连结示意图;第十图是该较佳实施例对正前一晶圆置于一切割工作台上的平面示意图;第十一图是第十图中之该晶圆对正前的数位影像,于一显示器之二视窗中同步显示的平面示意图;第十二图是第十图中之该晶圆对正中的数位影像,于该显示器之二视窗中同步显示的平面示意图;第十三图是对应第十二图中之该晶圆的实际状态示意图;第十四图是第十图中之该晶圆对正完成后的数位影像,于该显示器之二视窗中同步显示的平面示意图;第十五图是对应第十四图中之该晶圆的实际状态示意图;第十六图是一形成有多数六角形单位晶片之晶圆对正前的平面示意图;及第十七图是第十六图中该晶圆对正完成后的平面示意图。 |
