| 主权项 |
1.一种具有一工件支撑面之静电夹盘,其包括:一经图型化之导电性聚合物材料层,放置于该工件支撑面顶上;且该聚合物材料层系为一种具有受控电阻系数,以经由詹森-拉贝克(Johnsen-Rahbek)效应提供静电箝力之材料。2.如申请专利范围第1项之静电夹盘,其中该聚合物材料层系为导电性聚醯亚胺。3.如申请专利范围第1项之静电夹盘,其中该聚合物材料层系经图型化,以形成一网。4.如申请专利范围第3项之静电夹盘,其中该网系包括:多个岛状物;及多个连接条。5.如申请专利范围第3项之静电夹盘,其中该网系包括一经图型化之金属模心,涂布有一导电性聚合物材料。6.如申请专利范围第1项之静电夹盘,其中该聚合物材料层系沉积于该工件支撑表面上,以形成多个岛状物。7.如申请专利范围第6项之静电夹盘,其中该聚合物材料层系经图型化,以具有使该岛状物互连之连接条。8.如申请专利范围第1项之静电夹盘,其中该受控电阻系数系介于约107-1012欧姆-厘米范围内。9.一种装置,其包括:一夹盘,具有一半导性层,其具有一工件支撑面;一经图型化之托脚垫,配置于该夹盘之工件支撑面上,其中该托脚垫系由导电性聚合物材料制造,具有使该工件可经由詹森-拉贝克(Johnsen-Rahbek)效应而保持于该夹盘上之受控电阻系数。10.如申请专利范围第9项之装置,其中该聚合物材料层系为导电性聚醯亚胺。11.如申请专利范围第9项之装置,其中该工件支撑面系含有凹陷图型。12.如申请专利范围第11项之装置,其中该凹陷图型系对应于该托脚垫之形状,该托脚垫系置于该凹陷图型中。13.如申请专利范围第9项之装置,其中该聚合物材料层系经图型化,以形成一网。14.如申请专利范围第13项之装置,其中该网系包括一经图型化之金属模心,涂布以一导电性聚合物材料。15.如申请专利范围第13项之装置,其中该网系包括:多个岛状物;及多条连接条。16.如申请专利范围第9项之装置,其中该聚合物材料层系放置于该工件支撑面上,以形成多个岛状物。17.如申请专利范围第16项之装置,其中该聚合物材料层系经图型化,以具有使该岛状物互连之连接条。18.如申请专利范围第9项之装置,其中该受控电阻系数系介于约107-1012欧姆-厘米范围内。图式简单说明:图1系表示本发明托脚垫之剖面图,其系位于一夹盘表面上,支撑一晶圆;图2系表示该晶圆托脚垫之说明图的上视图;且图3系表示本发明托脚垫之剖面图,其系配置于一夹盘之表面中的对应图型凹陷上,支撑一晶圆。 |
