发明名称 各向异性导电连接材料
摘要 在使具有树脂制之钝化膜和于比该膜低之位置具有电极之半导体元件和电路基板进行连接之情况时,钝化膜不会受伤,可以机械式固定,可以获得面对之电极间之电连接,和可以保持邻接之电极间之绝缘,本发明提供此种之各向异性导电连接材料。在利用包含有接着剂成分和导电性粒子之连接材料,使在比钝化膜低之位置具有电极之半导体元件连接到电路基板时,使用在高分子核材粒子之表面被覆有金属层之粒子作为导电性粒子,所使用之粒子之粒径d为钝化膜和电极之高度差h之1.5倍以上,和成为电极间之间隔s之0.5倍以下。
申请公布号 TW525252 申请公布日期 2003.03.21
申请号 TW089121104 申请日期 2000.10.09
申请人 新力化学股份有限公司 发明人 须贺保博;武市 元秀
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼;何秋远 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种各向异性导电连接材料,其连接材料用来连接:半导体元件,在比钝化膜低之位置具有电极;和电路基板,具有与该电极对应之电极;其特征是:包含有绝缘性之接着剂和导电性粒子;该导电性粒子是以金属层被覆高分子核材粒子之表面所形成之粒子;导电性粒子之平均粒径是钝化膜之高度和半导体元件之电极之高度之差1.5倍以上。2.如申请专利范围第1项之各向异性导电连接材料,其中导电性粒子之平均粒径是邻接之电极间之间隔之0.5倍以下。3.如申请专利范围第1项之各向异性导电连接材料,其中导电性粒子是在被覆高分子核材粒子之金属层之表面,更以绝缘性树脂被覆所形成者。4.如申请专利范围第2项之各向异性导电连接材料,其中导电性粒子是在被覆高分子核材粒子之金属层之表面,更以绝缘性树脂被覆所形成者。5.如申请专利范围第1至4项中任一项之各向异性导电连接材料,其中导电性粒子之硬度(K値)为500-10000N/mm2。6.如申请专利范围第1至4项中任一项之各向异性导电,连接材料,其中导电性粒子中之金属层之Mohs硬度为1-6。7.如申请专利范围第5项之各向异性导电连接材料,其中导电性粒子中之金属层之Mohs硬度为1-6。图式简单说明:第1图是模式方式剖面图,用来表示实施例之连接体之连接状态。第2图之图形表示导电粒子之压缩变位移和负载之关系。第3图之图形表示导电粒子之压缩应变和k値之关系。
地址 日本