| 发明名称 | 陶瓷衬底和制造陶瓷衬底的处理 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是提供热均匀性和耐热冲击性方面优越的一种陶瓷衬底，而且在把陶瓷衬底制造成静电夹具的情况中，具有大的夹持力。本发明的陶瓷衬底是一种陶瓷衬底，它包括形成在其中的导体层，其特征在于，导体层的边缘部分是尖峰形状的。 | ||
| 申请公布号 | CN1437837A | 申请公布日期 | 2003.08.20 |
| 申请号 | CN00819193.X | 申请日期 | 2000.05.15 |
| 申请人 | IBIDEN股份有限公司 | 发明人 | 平松靖二;伊藤康隆 |
| 分类号 | H05B3/18;H05B3/68;H05B3/20;H05B3/10;H01L21/68;B28B11/00 | 主分类号 | H05B3/18 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 1.一种陶瓷衬底，包括形成在其中的导体层，其特征在于，所述导体层的边缘部分是尖峰形状的。 | ||
| 地址 | 日本岐阜县 | ||