电子光束曝光装置

摘要

本发明系提供一种具实用性的邻近曝光方式的电子光束曝光装置。该电子光束曝光装置系具有：邻近曝光方式的电子光学柱2、及真空室1者，载置台49系在保持晶圆100的部分具有基准载置面54A至54D，电子光束曝光装置系具有用以检测基准载置面及所载置的晶圆之基准载置面的部分高度之高度检测器92。