发光装置之制造系统以及制造方法

摘要

提供了一种对EL材料具有很高的利用率并且薄膜的均匀度良好的蒸发装置。本发明是一种具有可行动蒸发源和基底旋转构件的蒸发装置，其中蒸发源支撑器与工件(基底)的距离减小到30cm或更小，20cm更好，5到15cm最好，以便提高对EL材料的利用率。在蒸发过程中，为了进行沈积，使蒸发源支撑器沿着X方向和Y方向行动并且使工件(基底)旋转。因此，提高了薄膜的均匀度。