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发明名称
晶片组装方法及使用该方法之装置
摘要
本发明之晶片组装装置系,在将基板的规定电极部分作电浆洗净之后,马上将基板移动至超音波头部的下方,藉由超音波头部在其电极部分载置晶片,且在基板和晶片之两电极的抵接部分,赋予超音波振动而接合两电极。接合有晶片的基板系在机能检查工程中被检查,而在补修工程中系将不良基板之不良晶片取下作交换,而在将薄膜基板接合之后,于封止工程中对良品基板之表面供给树脂,而于树脂硬化单元使树脂被加热硬化。
申请公布号
TW200303589
申请公布日期
2003.09.01
申请号
TW092102119
申请日期
2003.01.30
申请人
东丽工程股份有限公司
发明人
山内朗
分类号
H01L21/607
主分类号
H01L21/607
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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