METHOD OF PRODUCING THIN, POORLY SOLUBLE COATINGS

摘要

A találmány tárgya eljárás kerámia- vagy oxidréteg (CL/OL) felviteléreegy szubsztrátumra oly módon, hogy a megfelelő kiindulószubsztancia(P) felvitelét és szárítását követően az így kialakult kiindulóanyag--szubsztanciaréteget (PLD) nedves reakciógázzal (RG) elgázosítják egymegfelelő hidroxid- vagy komplex réteggé (HL) történő átalakításhoz,majd a megfelelő kerámia- vagy oxidréteg (CL/OL) képzéséhez termikusankezelik. Egyéb kalkogén rétegek előállításához nagyobbanyagátalakulással egy további gázosítási lépést végeznek el kalkogén-hidrogén-tartalmú reakciógázzal. Fémrétegeket pedig redukálógázbeiktatásával tudnak előállítani. A találmány szerinti eljárás mindenolyan területen alkalmazható, ahol a felületnek a védelme vagymódosítása szükséges, és az egyébként árnyékolt belső tereknél isalkalmazható, alkalmazható továbbá funkcionális rétegek felvitelére,különösen a szerszám- és a napenergiát felhasználó iparban. ŕ