具有沟槽电晶体胞元电极之电接触结构之电晶体排列

摘要

电晶体排列(1)具有沟槽电晶体胞元(3)沿着一半导体基质(6)中的沟槽(9)排列，其具有两个或更多个电极结构(10，11)排列于沟槽(9)中，以及在该半导体基质(6)之基质表面(7)上排列金属化(20，21)，该沟槽被增长至该电晶体排列(1)之不活化边缘区(4)，以及在该边缘区域(4)中该电极结构(10，11)与对应金属化(20，21)之间提供电性传导接触。