| 摘要 |
本发明系关于在二氧化碳应用期间可用于侦测沉积在工件上之污染物的方法及系统，特别是可侦测已存在并溶解于该送入应用程序之新鲜二氧化碳中的污染物。本发明方向之一系包括一种供侦测溶解于二氧化碳流中之污染物的方法，其包括步骤为取样至少一部份二氧化碳流以形成二氧化碳试样；修改至少一个该二氧化碳试样之物理条件以形成含有气态二氧化碳及至少一个悬浮之污染物的气溶胶；以及配合使用至少一个粒子计数器以侦测在至少一部份该二氧化碳试样中之悬浮污染物的粒子数目。本发明同时也揭示一种可连续侦测溶解于二氧化碳流中之污染物的系统。 |
