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发明名称 VERBINDUNG UND VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ÄTZEN EINES SILIZIUMNITRID FILMS
摘要
申请公布号 AT254337(T) 申请公布日期 2003.11.15
申请号 AT19990116743T 申请日期 1999.08.27
申请人 ASHLAND INC. 发明人 HACKETT, THOMAS B.;HATCHER, ZACH, III
分类号 H01L21/306;C09K13/04;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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