| 主权项 |
1.一种具有探针固定板之探测卡,包含:多层印刷电路板;多层陶瓷电路基板,其具有复数个连接垫;及一探针固定板,具有复数个电性导通孔,其对应于该多层陶瓷电路基板之该些连接垫,且该些电性导通孔系填充有焊料,以结合探针。2.如申请专利范围第1项所述之具有探针固定板之探测卡,其中该探针之一端系穿过对应之电性导通孔。3.如申请专利范围第1项所述之具有探针固定板之探测卡,其中该探针固定板系为一陶瓷基板。4.如申请专利范围第1项所述之具有探针固定板之探测卡,其中该探针固定板系为一矽基板。5.如申请专利范围第1项所述之具有探针固定板之探测卡,其中该探针固定板系具有电容。6.如申请专利范围第1项所述之具有探针固定板之探测卡,其中该探针系为弹性探针。7.一种探测卡之探针固定板之制造方法,其包含:提供一基板,该基板具有复数个电性导通孔,而该电性导通孔系为贯通上下表面,并形成焊料于该些电性导通孔;提供至少一探针组,每一探针组包含有复数个探针及一衔接件,每一探针具有一底端及一尖端,而该衔接件系连接该些探针之尖端;结合该探针组至该基板,使得该焊料结合探针之底端至电性导通孔,且复数个探针之尖端形成于同一平面;及移除该衔接件。8.如申请专利范围第7项所述之探测卡之探针固定板之制造方法,其中在「提供至少一探针组」之步骤中,该探针组系包含有在衔接件两端之导杆。图式简单说明:第1图:依本发明之具有探针固定板之探测卡,一探测卡之截面示意图;第2图:依本发明之具有探针固定板之探测卡,一探测卡之探针固定板之截面示意图;第3a至3f图:依本发明之探测卡之探针固定板之制造方法,探针固定板之形成步骤示意图;第4图:依本发明之探测卡之探针固定板之制造方法,在基板上形成弹性探针之截面示意图;及第5图:在欧盟专利第0838685号「具有被硬质基板弹性支撑之针状探针的探测卡及其制法」中,一探测卡之陶瓷基板之截面示意图。 |
