发明名称 层形成方法,层形成设备,装置,装置的制造方法及电子设备
摘要 在一基板(S)上设定复数之单元区域(小部)B。自一液体滴射出头(34)将一以一液体构件作成之液体滴射出至该单元区域B,俾在基板(S)上形成一层。藉一在液体滴射出头(34)上形成之喷嘴N中之第一喷嘴组Na形成一第一图形。藉一不同于第一喷嘴组Na之第二喷嘴组Nb形成一第二图形。如此,藉以可维持一种稳定操作,俾在使用液体滴射出设备在基板形成具有不同特色之图形时,以较佳准确度形成一图形。
申请公布号 TW200307311 申请公布日期 2003.12.01
申请号 TW092108460 申请日期 2003.04.11
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 小山实;平井利充
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本