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经营范围
发明名称
层形成方法,层形成设备,装置,装置的制造方法及电子设备
摘要
在一基板(S)上设定复数之单元区域(小部)B。自一液体滴射出头(34)将一以一液体构件作成之液体滴射出至该单元区域B,俾在基板(S)上形成一层。藉一在液体滴射出头(34)上形成之喷嘴N中之第一喷嘴组Na形成一第一图形。藉一不同于第一喷嘴组Na之第二喷嘴组Nb形成一第二图形。如此,藉以可维持一种稳定操作,俾在使用液体滴射出设备在基板形成具有不同特色之图形时,以较佳准确度形成一图形。
申请公布号
TW200307311
申请公布日期
2003.12.01
申请号
TW092108460
申请日期
2003.04.11
申请人
精工爱普生股份有限公司
发明人
小山实;平井利充
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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