平台对齐设备及其控制方法、曝光设备、及半导体装置制造方法

摘要

当驱动一分别可在彼此垂直方向中移动之一X移动构件(3)和一Y移动构件(4)所导引之平台(2)时，即根据控制X移动构件(3)态势之一讯号加以控制Y移动构件(4)之态势。