载台装置及曝光装置

摘要

一种载台装置具有：一导引构件，导引着保持基板的一载台本体在一第1方向移动自如的方式，并在一基座上往一第2方向移动，以及一驱动装置，驱动该载台本体往该第1方向。在该导引构件及该基座之间配设一从动载台，连接该驱动装置的一部份，并与该导引构件往该第2方移动。可无损于驱动装置的控制性，且可达成装置的轻巧化并可抑制资源供给构件的发尘。