使用具前置数値孔径控制之照射系统来改善微影装置上的线宽控制之系统及方法

摘要

改善微影装置上的线宽控制之系统及方法被提出，电磁能量从一照射源发出并通过一照射光学模组，照射光学模组包括有一第一光学元件和一第二光学元件的一部分相干调整模组，第一光学元件是用来以既定方式改变入射的电磁能量的部分相干，以补偿与微影装置相关之水平及垂直线偏移，第二光学元件是用来改变入射在第一光学元件的电磁能量的角分布。这二个光学元件一起用来依照射场位置函数改变照射源发出的电磁能量部分相干，并改进线宽控制。调整第二光学元件允许随时间变化的线宽变化之校正。