发明名称 薄膜覆晶(COF)涂胶机之定位吸盘
摘要 一种薄膜覆晶(COF)涂胶机之定位吸盘系包含一金属本体,其中该金属本体具有一吸附平面,其系区分为复数个吸附区,而每一吸附区系具有复数个吸气孔,该复数个吸气孔系连通至一吸气装置,使该吸气孔产生足够的吸力以平整吸附一COF薄膜于该金属本体之吸附平面,以确保COF薄膜在涂胶时之平整度以及增进对COF薄膜在涂胶时之均匀导热。
申请公布号 TW572349 申请公布日期 2004.01.11
申请号 TW090219888 申请日期 2001.11.15
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 邱智贤;林其顺;林志勇
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 张启威 高雄市左营区立文路七十七号十六楼之二
主权项 1.一种薄膜覆晶(COF)涂胶机之定位吸盘,用以涂胶时平贴固定一COF薄膜,该COF薄膜系载附有复数个晶片,该定位吸盘系包含有:一金属本体,其具有一吸附平面,用以传导热量至该COF薄膜,该吸附平面系区分为一个或一个以上吸附区,对应于上述COF薄膜之至少一晶片,每一吸附区系具有复数个吸气孔,以吸附该COF薄膜平贴于该金属本体之吸附平面,该复数个吸气孔系藉由复数个吸气通道相互连通,而该些吸气通道系具有一通孔,以供连通至一吸气装置,使该些吸气孔得以吸附该COF薄膜。2.如申请专利范围第1项所述之薄膜覆晶(COF)涂胶之定位吸盘,其中该吸附区侧面刻有薄膜节距符号或数字,以供涂胶对位。3.如申请专利范围第2项所述之薄膜覆晶(COF)涂胶之定位吸盘,其中部分吸气孔系对应该薄膜节距符号排列。4.如申请专利范围第1项所述之薄膜覆晶(COF)涂胶之定位吸盘,其中该金属本体之吸附平面之复数个吸附区面积系不相等。5.如申请专利范围第1项所述之薄膜覆晶(COF)涂胶之定位吸盘,其中该金属本体之侧边另设有加热棒及温度感测器,以供涂胶加热及控温。6.如申请专利范围第1项所述之薄膜覆晶(COF)涂胶之定位吸盘,其另包含有一隔热板,结合于该金属本体对应于该吸附平面之另一表面。图式简单说明:第1图:依本创作之一具体实施例中,一薄膜覆晶(COF)涂胶机之定位吸盘之分解图;第2图:依本创作之一具体实施例中,一薄膜覆晶(COF)涂胶机之定位吸盘之上视图;第3图:依本创作之一具体实施例中,第2图沿3-3线之截面放大图;第4图:习知之薄膜覆晶(COF)封装结构之截面图;及第5图:习知之TCP涂胶机之定位盘之立体图。
地址 新竹市新竹科学工业园区研发一路一号