发明名称 SEMICONDUCTORS STRUCTURE HAVING A CRYSTALLINE ALKALINE EARTH METAL OXIDE INTERFACE WITH SILICON
摘要
申请公布号 SG101424(A1) 申请公布日期 2004.01.30
申请号 SG20000003969 申请日期 2000.07.17
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 WANG, JUN;OOMS, WILLIAM JAY;HALLMARK, JERALD ALLEN
分类号 C23C14/08;C23C16/40;C30B25/02;C30B29/16;H01L21/20;H01L29/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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