发明名称 半导体装置
摘要 本发明系关于一种半导体装置,其目的在于一方面防止最上层具有铜层的密封环之氧化及腐蚀,一方面防止切割时在电路形成区域产生裂痕。其解决手段系在钝化膜120中,形成有到达层间绝缘膜109之开口部123者。而开口部123系配置成包围密封环110的外侧。换句话说,第2配线层114上面,系因藉由钝化膜120而被完全地覆盖着,所以第2配线层114上面并未曝露于外界空气中。因而,可防止第2配线层114之氧化、腐蚀,且可防止密封环110对半导体装置之保护效果的恶化。更且,藉由开口部123之存在,对切割区域进行切割时之应力就不易传至电路形成区域上之钝化膜120,而可防止在电路形成区域产生裂痕。
申请公布号 TW200402802 申请公布日期 2004.02.16
申请号 TW092107495 申请日期 2003.04.02
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 富田和朗
分类号 H01L21/32 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人 赖经臣
主权项
地址 日本