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发明名称
形成具有聚醯亚胺之介电填充物层于金属层表面的方法、用以制造具有一电容层的铜箔基板方法、以及以该方法制造之铜箔基板
摘要
【课题】本发明系提供:使用具有介电填充物之聚醯亚胺电镀液,来形成膜厚均一性优良之具有介电填充物之介电质层之方法。本发明系对金属材表面形成含有介电填充物,其特征在于:介电填充物之中,使用平均粒径DIA为0.05~1.0μm,藉由雷射折射散乱式粒度分布测定法来求得重量累积粒径D50为0.1~2.0μm,而且,使用重量累积粒径D50与藉由影像解析所得到之平均粒径DIA之D50/DIA所表示之凝集度之值在4.5以下之呈略球形之形状之包括钛钙矿(perovskite)构造之介电质粉末。
申请公布号
TW200402481
申请公布日期
2004.02.16
申请号
TW092117210
申请日期
2003.06.25
申请人
三井金属业股份有限公司
发明人
横田俊子;高桥进;松岛英明;土桥诚;山本拓也
分类号
C23C18/28
主分类号
C23C18/28
代理机构
代理人
洪澄文
主权项
地址
日本
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