| 摘要 |
一种用于将气源输送至一处理室的方法和系统被提供。一气源输送方法包括提供一被建构来容纳前驱物蒸汽之前驱物室；在该前驱物室内于选择的压力提供饱和前驱物蒸汽；和使饱和前驱物蒸汽由该前驱物室流至或扩散至一处理室，直到该处理室内有一选择的压力被提供为止。一气源输送系统包括一被建构来容纳前驱物蒸汽之前驱物室；一用于加热一前驱物蒸汽，以在该处理室内于选择的压力提供饱和前驱物蒸汽之热源；和允许饱和前驱物蒸汽进入一处理室，直到在该处理室中有一选择的压力被提供之蒸汽通道。有利地，本发明允许改善前驱物蒸汽输送，以及提高控制在薄膜沈积上有少量前驱物材料之废弃物。 |
