| 摘要 |
一种占地面积小的生产设备及用此设备生产发光装置的方法。生产发光装置的设备包含装载工作室、形成发光材料薄膜的工作室、形成导电材料薄膜的工作室、形成绝缘材料薄膜的工作室、以及卸载工作室，其中，形成发光材料薄膜的工作室是用液体喷射方法形成发光材料薄膜的工作室，形成导电材料薄膜的工作室是用溅射方法形成导电材料薄膜的工作室，而形成绝缘材料薄膜的工作室是用溅射方法来形成绝缘材料薄膜的工作室，且其中，在所有装载工作室、形成发光材料薄膜的工作室、形成导电材料薄膜的工作室、形成绝缘材料薄膜的工作室、以及卸载工作室中，待要处理的基底被支撑成待要处理的基底的膜形成表面与重力方向所对着的角度在0－30度内。 |
