投影光学系统,微影方法,曝光装置及使用此曝光装置的方法

摘要

一种在宽广视野上以高解析度投影成像(image)之微影浸没投影系统(lithographicimmersionprojectionsystem)与方法。上述投影系统与方法包括一个在光进入浸没液体并撞击成像平面之前减少光径之边缘光线角度之最终透镜。