在高分辨率测量系统中测量波长变化的方法和设备

摘要

本发明公开了一种在高分辨率测量系统中测量波长变化的方法和设备。两个光束以不同角度穿过基本相同的滤光器，产生两个不同的与功率和/或温度变化类似地动作的输出信号。两个光束经过同一滤光器的两个部分进行滤光。可在滤光器上安装衍射光栅，用来将入射辐射分裂成第一和第二光束。然后光束以不同的角度穿过滤光器，产生两个输出信号，可结合用来补偿共模误差和功率变化。可获得极小的尺寸和高分辨率。还可利用一个或多个检测器。基于直接的温度测量或基于由经过具有与前两个光束使用的滤光器不同温度依存性的滤光器的其它两个光束导出的输出，也可补偿滤光器的温度灵敏度。

主权项

1.一种辐射测量装置，用来测定来自辐射源的辐射的与波长相关的特性，该辐射测量装置包括：第一光束路径，以第一入射角通过波长感应滤光器，第一光束路径接收第一输入辐射光束并输出第一经滤光的光束；第二光束路径，以第二入射角通过波长感应滤光器，第二光束路径接收第二输入辐射光束并输出第二经滤光的光束，第二入射角与第一入射角不同；第一探测通道，包括设置成用来接收第一经滤光的光束并输出相应的第一探测信号的辐射检测器；和第二探测通道，包括设置成用来接收第二经滤光的光束并输出相应的第二探测信号的辐射检测器；其中以第一入射角通过波长感应滤光器的第一光束路径与以第二入射角通过波长感应滤光器的第二光束路径经过基本相同的波长感应滤光器。