发明名称 |
节料型原子束发生器 |
摘要 |
节料型原子束发生器主要由坩埚,坩埚内芯,内外加热体的双加热坩埚炉,以及炉底板,隔热套,真空腔体等部分组成。原子束通过坩埚内芯和坩埚二个喷射口喷入真空腔内,由坩埚内芯喷射出的大部分原子因发散角较大,未能通过坩埚第二个喷射口喷出,而沿坩埚内壁流下被回收循环使用。因而不仅节约了大量原子材料,而且在坩埚一次装料相同情况下,连续喷射时间拉长,大大提高了工作效率。 |
申请公布号 |
CN1503615A |
申请公布日期 |
2004.06.09 |
申请号 |
CN02153271.0 |
申请日期 |
2002.11.26 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
陈旭南;姚汉民;李展;罗先刚;石建平;陈献忠;陈元培;高洪涛;秦涛 |
分类号 |
H05H3/02;G03F7/20 |
主分类号 |
H05H3/02 |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 |
代理人 |
刘秀娟;卢纪 |
主权项 |
1、节料型原子束发生器,包括真空腔体(8)及真空腔(9),其特点在于:还包括内外双加热坩埚炉,该包括内外双加热坩埚炉由坩埚(4)、内加热体(6)、外加热体(5),坩埚盖(16)和坩埚内芯(14),在坩埚(4)外壁装有外加热体(5),并开有刀口形喷射孔(12),坩埚盖(16)紧盖在坩埚(4)上,坩埚(4)内还装有坩埚内芯(14),在坩埚内芯(14)的上部开有与坩埚(4)上喷射孔(12)对齐的刀口形喷射孔(17),下部开有让液体材料流入的孔(20),在坩埚内芯(14)外壁紧套有内加热体(6),并在对应坩埚内芯(14)上部喷射孔(12)位置留出孔,坩埚内芯(14)中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管(21),在其上部还装有带倾角的反射板(15)。 |
地址 |
610209四川省成都市双流350信箱 |