发明名称 节料型原子束发生器
摘要 节料型原子束发生器主要由坩埚,坩埚内芯,内外加热体的双加热坩埚炉,以及炉底板,隔热套,真空腔体等部分组成。原子束通过坩埚内芯和坩埚二个喷射口喷入真空腔内,由坩埚内芯喷射出的大部分原子因发散角较大,未能通过坩埚第二个喷射口喷出,而沿坩埚内壁流下被回收循环使用。因而不仅节约了大量原子材料,而且在坩埚一次装料相同情况下,连续喷射时间拉长,大大提高了工作效率。
申请公布号 CN1503615A 申请公布日期 2004.06.09
申请号 CN02153271.0 申请日期 2002.11.26
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 陈旭南;姚汉民;李展;罗先刚;石建平;陈献忠;陈元培;高洪涛;秦涛
分类号 H05H3/02;G03F7/20 主分类号 H05H3/02
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 刘秀娟;卢纪
主权项 1、节料型原子束发生器,包括真空腔体(8)及真空腔(9),其特点在于:还包括内外双加热坩埚炉,该包括内外双加热坩埚炉由坩埚(4)、内加热体(6)、外加热体(5),坩埚盖(16)和坩埚内芯(14),在坩埚(4)外壁装有外加热体(5),并开有刀口形喷射孔(12),坩埚盖(16)紧盖在坩埚(4)上,坩埚(4)内还装有坩埚内芯(14),在坩埚内芯(14)的上部开有与坩埚(4)上喷射孔(12)对齐的刀口形喷射孔(17),下部开有让液体材料流入的孔(20),在坩埚内芯(14)外壁紧套有内加热体(6),并在对应坩埚内芯(14)上部喷射孔(12)位置留出孔,坩埚内芯(14)中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管(21),在其上部还装有带倾角的反射板(15)。
地址 610209四川省成都市双流350信箱
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