装置的制造装置及装置的制造方法,电子机器

摘要

本发明之装置的制造装置IJ系具备：喷出喷头1，其系喷出包含机能性材料的液状体；作业台装置2，其系支持喷出液状体的基板P，且可对喷出喷头1相对移动；搬送装置3，其系搬送基板P；检出装置30，其系检测出由形成于喷出喷头1的喷出喷嘴11所喷出的液状体的喷出状态；及控制手段CONT，其系于基板P的搬送动作中执行检出装置30的检出动作。