工件材料表面形貌处理方法

摘要

本发明系有关于一种工件材料表面形貌处理方法，系垂直于扫描式探针显微镜的扫描方向上取其形貌数据的梯度，利用所得到的梯度来自动判断数据及杂讯是否合理，且依预先输入之参考值作为判断的门槛，于数据的线上处理及后处理上对杂讯值自动进行整修处理，以期得到较为合理的数据，避免不合理的数据影响解读或使形貌失真，能节省大量人力与时间且得到真正精确的形貌。