发明名称 COMPOSICAO PARA POLIMENTO QUIMICO-MECANICO DE CAMADAS NUM MATERIAL ISOLADOR A BASE DE UM POLIMERO COM CONSTANTE DIELECTRICA BAIXA
摘要
申请公布号 PT1046690(E) 申请公布日期 2004.10.29
申请号 PT20000810343T 申请日期 2000.04.19
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 ERIC JACQUINOT;PASCAL LETOURNEAU;MAURICE RIVOIRE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/04;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/310 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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