具规则性排列之磨料的研磨工具制造方法

摘要

本发明系有关于一种具规则性排列之磨料的研磨工具制造方法，其系在一基材上电镀形成一布置层；之后在布置层上蚀刻复数孔洞；接着将复数研磨粒分别置入于孔洞中，使研磨粒均匀排列于基材上；于研磨粒布置完毕后，在布置层上接续电镀以形成一固结层，而将研磨粒覆盖固结于基材上；最后去除部分固结层使研磨粒部分裸露以进行研磨加工；另外可于固结层上再形成一固结加强层，以加强研磨粒与固结层之间的固结强度，以让研磨粒于进行研磨加工时不易掉落，而增加研磨工具之使用寿命。本发明系可使研磨粒依各种研磨所需排列分布于基材上，以提高研磨加工效率。