绝缘层上有矽晶片之鳍状元件

摘要

一种绝缘层上有矽晶片之鳍状元件，包含矽基材，覆盖于矽基材之上绝缘层，具有鳍状结构之矽控整流体，且矽控整流体之宽度能使其结构中形成一非空乏区域，及闸极层。本发明之另一态样系包含矽基材，覆盖于矽基材之上绝缘层，具有鳍状结构之矽控整流体，及部分覆盖于矽控整流体宽度之上的闸极层，使矽控整流体结构中间形成非空乏区域。故本发明之鳍状元件，具有降低半导体元件之短通道效应尺寸，更改善SOI制程鳍状元件完全空乏的情况，使得矽控整流体的操作速度更为加快，更能满足系统整合晶片之制造需求。