具备无尘箱开闭装置之无尘装置

摘要

在知的无尘装置的承载埠部，有以由风箱的磨耗产生的尘减低无尘度或盖以本身重量不能从本体分离的情况。为了处理此种情况，无尘装置作成无尘箱的盖具备非圆形的收纳孔，无尘装置的承载埠部具有具备可嵌入该收纳孔的突起的开闭机构和缓冲室，缓冲室的风箱的一端与该缓冲室的底面连结和该风箱的另一端在该缓冲室的外侧相对埠门的升降手段被固定的构成。