发明名称 晶圆级晶片尺寸封装之制造方法及其结构
摘要 一种晶圆级晶片尺寸封装之制造方法,其系在一晶片之主动面上形成一金属层,于该金属层上覆盖一光阻层,该光阻层形成有复数个线形曝露区与块状曝露区,于该些线形曝露区与块状曝露区形成一抗蚀金属层,一填充光阻填充于该些线形曝露区,并将复数个凸块形成于该些块状曝露区,之后,蚀刻该金属层而保留在该抗蚀金属层下之金属层,以形成复数个重分配迹线与凸块接垫,之后,形成一强化胶体于该晶片之主动面,该强化胶体系密封该些重分配迹线与该抗蚀金属层并支撑该些凸块之底部,以同时提供该些重分配迹线之保护与该些凸块之周围支持。
申请公布号 TW200501370 申请公布日期 2005.01.01
申请号 TW092117498 申请日期 2003.06.26
申请人 南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司 CHIPMOS TECHNOLOGIES (BERMUDA) ., LTD 英属百慕达 发明人 郑世杰;刘安鸿;王永和;赵永清;李耀荣
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 张启威
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区研发一路一号