| 发明名称 |
Endpoint detection for electro chemical mechanical polishing and electropolishing processes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6837983(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
| 申请号 |
US20020056316 |
申请日期 |
2002.01.22 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
DUBOUST ALAIN;WANG YAN;NEO SIEW;CHEN LIANG-YUH |
| 分类号 |
B24B37/00;B23H5/08;B24B37/04;B24B49/04;B24B49/10;C25F7/00;H01L21/304;H01L21/3063;(IPC1-7):C25F3/00;C22D17/00 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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