感光性树脂组成物涂布性提升剂及含有它之感光性树脂组成物

摘要

本发明之课题系为同时改善于大型基板上涂覆感光性树脂组成物时产生的鳞状涂覆斑及基板端部隆起(波纹(bead))之问题。本发明系有关一种在含有酚醛清漆树脂等硷可溶性树脂及含二叠氮基之感光剂的感光性树脂组成物中，对感光性树脂组成物之全部固体成分而言含有50～5,000ppm以下述通式所示矽油。092132491-p01.bmp(其中，R1、R2、R3、R4、R5及R6系各表示独立的氢原子、羟基、碳数1～4之烷基、或芳基，m系表示1～40、n系表示1～40之整数)。