气体分离装置

摘要

将制造步骤所产生之含有含CF4、C2F6之PFC气体的废气以浓缩装置予以浓缩后，以氮做为载体气体并以层析分离装置进行层析分离。于此层析分离装置中，充填分子筛-13X和F-9。藉此，可有效分离PFC气体中的CF4、C2F6。