沉积材质于基底上之方法,以及形成层于基底上之方法

摘要

本发明揭示一种包括使用超临界流体将先驱物引入反应室之方法。某些方面中，一超临界流体用于在ALD中将至少一种先驱物引入一室，特定方面中该超临界流体用于在ALD中将多个先驱物引入该反应室。本发明可用于形成各种材质，包括含金属材质，例如金属氧化物、金属氮化物及由金属组成之材质。可使用一超临界流体形成之金属氧化物可用于将含金属先驱物引入反应室，该先驱物接着于一基底之一表面上形成一含金属层。随后，该含金属层可与氧气反应，以便将该层内之至少一些该金属转换为金属氧化物。