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发明名称 METHOD FOR CORRECTING AN ALIGNMENT OF A STEPPER OR A SCANNER IN A PHOTOLITHOGRAPHY PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20050037675(A) 申请公布日期 2005.04.25
申请号 KR20030072911 申请日期 2003.10.20
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KWON, KI SUNG
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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