溅镀靶

摘要

提供一种制造溅镀靶总成的方法及其产品。方法包括制造一背板，背板具有一平面形顶表面与一在其中的圆柱形凹部。然后，制造接近最后形状的靶插入件，其具有一截头圆锥形后表面–其对应于背板的圆柱形凹部–及一前表面。靶插入件的降伏强度大于背板的降伏强度，且高度大于背板中的圆柱形凹部的深度。其后，靶插入件热压进入背板的圆柱形凹部成为塑性变形的状态，以扩散接合靶插入件至背板及形成靶总成。靶插入件突出于背板的平面形前表面上方。