以压印技术制作微电容式超音波换能器之方法

摘要

本发明系有关一种以压印技术来制作微电容式超音波换能器之方法，其主要系利用一表面具有特定图案之母模压印于一可挠性材料中，则将可于该可挠性材料上形成微电容式超音波换能器所需之激振腔体。此一压印技术除了可使超音波换能器易于大量制造，与降低成本外，并可精确地控制微电容式超音波换能器中激振腔体之几何尺寸，使电极间之距离缩小至微／奈米尺寸，进而大大提升超音波换能器之灵敏度。本发明之方法尤彻底改变知技术制造微电容式超音波换能器之制程步骤，不但可以减少其程序，还可解决知技术制程参数控制不易，容易造成激振腔体内部污染等问题。