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发明名称 THE VACCUM CHUCK
摘要
申请公布号 KR20050047511(A) 申请公布日期 2005.05.20
申请号 KR20050029446 申请日期 2005.04.08
申请人 LEE, CHUN MOO;TRI N CO., LTD. 发明人 LEE, CHUN MOO
分类号 B23B31/30;H01L21/00;(IPC1-7):B23B31/30 主分类号 B23B31/30
代理机构 代理人
主权项
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