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发明名称 IMPROVED TARGET HAVING MODIFIED SURFACE TEXTURE
摘要
申请公布号 SG111207(A1) 申请公布日期 2005.05.30
申请号 SG20040005598 申请日期 2004.10.01
申请人 HERAEUS, INC. 发明人 KENNEDY, STEVEN, ROGER;CHENG, YUANDA, R.;CORNO, PHILIP, D.;DARY, FRANCOIS
分类号 H01L21/203;C23C14/34 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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