| 主权项 |
1.一种可调式靶材装置,是装设在一溅镀设备中,该溅镀设备包含一界定出一容装有电浆之真空容室的腔体,及一能被驱动而沿着一输送方向在该容室中移动前进的被镀物,该腔体具有一平行于该输送方向的侧壁,及一贯穿该侧壁且连通该容室的穿孔,而该可调式靶材装置包括:一侧板,固接在该侧壁上且对应密封该穿孔;一连接件,可拆换地组接在该侧板上,且垂直于该输送方向地进入容室,并朝该被镀物延伸;及一靶材单元,装设在该连接件邻近于该被镀物之一侧上,并具有一邻近于该被镀物的靶材,及一与靶材绝缘间隔的电极板,当靶材与电极板分别连接相反电极,即能形成电场激发电浆轰击靶材,令该靶材被撞击而发射出气体分子,沉积在被镀物上形成一镀膜;藉由更换不同长度之连接件,即能调整该靶材单元与该被镀物间之距离。2.依据申请专利范围第1项所述之可调式靶材装置,更包括一设在该侧板与侧壁上的气密单元,该气密单元具有二嵌设在该侧板邻接该侧壁之一侧上且呈内外环状的密封圈,及复数分别设在该侧板上且连接在两密封圈之间的抽气接头,抽气接头能用于连接一抽真空装置,将两密封圈之间的气体抽除,使得该侧板与腔体之间形成气密状态。3.依据申请专利范围第1项所述之可调式靶材装置,其中该连接件具有一沿着垂直于该输送方向延伸且位在侧板与靶材单元之间的悬凸管、二分别将该悬凸管之二端抵定在侧板与靶材单元上的夹抵环,及复数分别将夹抵环固接在该侧板与靶材单元上的锁固件,藉此能将悬凸管可拆换地组接在该侧板与靶材单元之间。4.依据申请专利范围第3项所述之可调式靶材装置,其中该连接件更具有二分别垫设在悬凸管与侧板问的管垫片,及二分别嵌设在管垫片与夹抵环之间的紧迫圈,用于使得悬凸管与容室间形成气密状态。5.依据申请专利范围第1项所述之可调式靶材装置,其中该靶材单元更具有一固接在该连接件邻近于该被镀物之一侧上的基座、一固接在该基座朝该被镀物之一侧上的绝缘体,及一固接在该绝缘体上且衔接该靶材的背板,该电极板是固接在该基座上且与背板及靶材相间隔。6.依据申请专利范围第5项所述之可调式靶材装置,其中该靶材单元更具有一固接在背板远离靶材之一侧上的磁铁。7.依据申请专利范围第6项所述之可调式靶材装置,更包括一装设在该靶材单元上的冷却单元,能用于冷却与磁铁固接之背板。8.依据申请专利范围第7项所述之可调式靶材装置,其中该靶材单元更具有一中介隔设在背板与靶材之间的隔板,在该背板与隔板之间界定出二左、右间隔的水道,而该冷却单元具有一固接在该基座中的框架、二架固在框架上且分别连接两水道之一端的入水接头、二分别连接两水道之另一端的出水接头、二分别连接入水接头与水道的入水路转接头,及二分别连接出水接头与水道的出水路转接头。9.依据申请专利范围第5项所述之可调式靶材装置,更包括一装设在该靶材单元中的导气单元,能用于将气体引入该容室中。10.依据申请专利范围第9项所述之可调式靶材装置,其中,该连接件具有一连接在侧板与基座之间且界定出一中孔的中空悬凸管,该侧板具有一连通该悬凸管之中孔的外孔,该基座具有一连通该悬凸管之中孔的内孔,该导气单元具有二分别固接在该基座中的入气接头,及二分别连接入气接头与容室的出气接头,使用时,气体能由外孔、中孔与内孔,经入气接头通过基座,并自出气接头进入该容室中。图式简单说明:图1是一种习知之溅镀设备的部份剖视示意图;图2是本新型可调式靶材装置之较佳实施例的剖视示意图,说明装设在一溅镀设备中的部份构造;图3是该较佳实施例之立体图;图4是该较佳实施例之正视示意图;及图5是沿图4中之线V-V的一剖面图。 |
