用于图形化线宽不等的线之复合光学微影法

摘要

复合图形化技术包含二微影制程。第一微影制程使用干涉微影术以在光阻上形成具有实质等宽的线及空间之干涉图形。第二微影制程使用例如光学微影术、压印微影术、及电子束微影术等一或更多非干涉微影技术，以中断图形化线的连续性及形成所需的积体电路特征。