光学组件,含有该光学组件之微影装置及元件制造方法

摘要

本发明描述了一种具有一顶层之光学组件，该顶层对于波长λ在5–20nm范围内之极端紫外线(EUV)辐射具有透射性，且其中该顶层之结构为以下结构：对于空间周期等于或小于λ／2而言，具有等于或大于λ／10的均方根(rms)粗糙值之结构。该结构可促进穿过该顶层至该光学组件之透射。