| 发明名称 |
METHOD FOR ADJUSTING A LAMP RELATIVE TO AN ILLUMINATING BEAM PATH OF A MICROSCOPE AND A MICROSCOPE SUITABLE FOR CARRYING OUT THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG115454(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.28 |
| 申请号 |
SG20020001207 |
申请日期 |
2002.03.01 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
PETER OTT |
| 分类号 |
G02B21/06;G02B21/08;(IPC1-7):G02B21/06;G02B21/26 |
主分类号 |
G02B21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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