氧化物固溶体粉末

摘要

本发明提供一种以铈氧化物作为主成分之氧化物固溶体粉末而可使用来作为研磨材者，使用来作为研磨材时，可得到高研磨面精度之被研磨面。本发明系以氧化铈作为主成分的稀土族氧化物中因溶有钙氧化物之氧化物固溶体粉末，使用其研磨玻璃基板等玻璃材时，可得到高研磨面精度的被研磨面，适宜作为研磨材。使钙氧化物固溶于以氧化铈作为主成分的稀土族氧化物中，化学研磨力高，可得到更高的研磨面精度。