萧特基阻障二极体及其制造方法

摘要

一种功率Schottky整流装置，包括多个填满未掺杂多晶矽层的沟渠，其各个沟渠底部皆有一p区域，当逆向偏压发生时用以阻抗逆向电流，并减少顺向偏压时的少数载子电流。因此功率Schottky整流装置可提供高速开关切换之速度。功率Schottky整流装置系形成于基板边缘之终止区区域，本发明也提供制造方法。