含氟弹性体组成物

摘要

本发明系提供对半导体制造步骤所进行的NF3电浆处理、O2电浆处理、及CF4电浆处理之所有的电浆处理重量变化小，具有明显的电浆耐性之含氟弹性体组成物及由该含氟弹性体组成物所成的成形品。